推薦-半導體製程技術導論（第二版）
本書譯自HongXiao(蕭宏)原著「IntroductiontoSemiconductorManufacturingTechnology」(第二版)，提供最新的半導體製程相關加工技術之介紹與各種加工原理之說明與應用，是半導體製程實務最為鉅細靡遺的著作。本書適用於私立大學、科大、技術學院，電子、電機、資工、機械系『半導體工程』、『半導體製程』、『半導體導論』課程使用。
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